笔趣馆

手机浏览器扫描二维码访问

第337章 美滋滋的配套单位(第1页)

东北光学所,接到了一个光路系统的研制要求,要求的发起方,来自十二机部,至于是做什么用的,并没有说明。

要求非常贴心的分为了两级,实现过程也就分成了两步。

第一步,是将波长355nm的激光束扩散为直径160mm的平行光束。

第二步,是将这束扩散后的平行光束,将光路中的玻璃板上图像重新缩微投影为一个20mm的光斑。

要求缩微投影后,图形变形不超过5微米,越小越好。

这个要求说简单那不简单,说麻烦嘛,好像也不是非常麻烦,正好卡在好像努力一下就能够的着的程度。

对于搞技术的人来说,这种要求是最舒服的,既不会没有挑战性和成就感,又不会要求太高难以实现。

而且对方明确说了,分两步实施,第一步做出来就先提交第一步,第一步尽量快,第二步可以慢慢做,但是质量一定要稳。

还能分步提交成果,这就更舒服了。

甚至对方还非常贴心的,送了一台激光器过来,正是355nm激光光源。

这个不是红宝石激光器,本来是高振东为激光测距准备的YAG(钇铝石榴石)激光器,这东西功率比较容易做大,而且波长根据掺杂可调。

这正是高振东和1274厂集成电路工艺研究中的一部分,这個东西一看就知道,用于光刻机的光路系统。

把整个光路系统分成两步,正是高振东的主意。

第一步,相对简单一些,可以用于接触式或者接近式光刻机,这两个都是直接投影的,模版的分辨率多少,实际分辨率大约就是多少。

而第二步困难一些,等东北光学所慢慢搞就行,这是预想用于投影式光刻机的,搞个一年两年三年的都不是什么问题,搞不出来,接近式光刻机也够用了,搞出来了,那就纯赚了。

与此同时,某化学研究所,搞有机材料的同志也接到了十二机部关于光敏材料的研究要求,研究要求明确指明了,光敏材料可以是光聚合型、光分解型、光交联型中的一种,用于激光感光成像,工作光波长355nm。

十二机部还送来了一台激光器,以及简单的激光扩散配件,用作试验过程中的光源。

说实话,研究所的同志,还是第一次看到要求这么明确,连技术路线都给说得明明白白的要求文件。

甚至光交联型这种,他们也是看了要求文件里面的解释才搞清楚是个怎么回事儿。

要是所有的需求方都像这一家这样就好了,化学研究所的同志美滋滋的想,还能学东西!

其实这是高振东没办法,他不知道现在到底哪一种能搞成,总之65年这东西是有的,干脆把几种常见的光刻胶的路线都给写了上去,你做出来哪种算哪种,无非就是正胶负胶的区别,都能用。

一个技术刚兴起的时候,自由度是最大的,不用考虑太细节的东西,而且配套技术不用考虑技术路线的差别带来的性能差异,因为要求还没高到那份上,大概就是能用就行,整出来就算本事。

像日后光刻技术那一大堆高级技术在这个年代都不用考虑,根本用不上,也没条件用上。

搞个10微米~100微米的光刻,就想着把浸润光刻、多重曝光、EUV光源这些弄上来无疑是吃饱了撑着了。

且不说这些美滋滋的配套厂所,高振东自己,正在和厂里的一堆八级工研究工件台的事情,虽然不搞多重曝光,但是套刻还是需要的,工件台的定位精度还是要考虑。

套刻,就是把多个图形分多次刻到同一工件上,形成一个完整的图形。

如果只是刻一次,那倒不需要管套刻精度,只要保证光的投射范围都在晶圆上以及光投影精度即可,可是在集成电路工艺里,是要分很多次光刻,来形成不同结构,而且这些结构之间又有电路连接,所以套刻精度还是要保证的。

至于双工件台,就先扔一边了,一个工件台还没搞利索呢,想那么多是给自己找麻烦。

“高总,你这个东西的定位精度要半丝?”

一群老八级工有点嘬牙。

1丝,从机加工的角度,等于10微米,半丝,5微米。

高振东点点头:“嗯,先不考虑移动定位精度,就考虑两个工件固定时定位的相对精度就可以。”

如果微缩投影还没搞通的话,那移动定位精度就意义不大,因为不需要在晶圆上一个芯片一个芯片的刻,而是一次性投影出整个晶圆的图像,这种情况下,哪怕套刻,主要考虑的也就是模版、晶圆固定时的相对位置精度了。

之所以一开始都是搞的接触式或者接近式光刻机,这就是原因,技术简单得多啊。

几位老师傅,包括易中海在内,放下了大半的心,这个就好办多了。

毒妃在上,邪王在下/师父如花隔云端  【快穿】种马总攻的肉欲之旅  隔壁大叔是只狗  坏孩子  快穿后我成了别人的金手指  就想看你跪在我脚边  重生一九四四  419心理诊所  发情的男人与冷漠的男人  教反派做贤妻[综英美]  宋医生,我头疼  恶雌装乖后,病娇兽夫都想独占我  相思一顾作品霍总太太不复婚只改嫁  太虚神王之崛起之路  神君快到怀里来  葬身火海后,嫡女杀光全家  女配不背锅[快穿]  红灯区  霍总太太不复婚只改嫁相思一顾笔趣阁免费阅读  全职猎人:阴影之上  

热门小说推荐
四合院:特种兵穿越参军航空报国

四合院:特种兵穿越参军航空报国

北航研究生许大茂穿越到50年代的北京城,与四合院中的发小何雨柱一起报名参军。雄赳赳气昂昂,跨过鸭绿江,走上抗美援朝的战场,保家卫国。许大茂何雨柱(傻柱)董大宝李二虎和钱十三等尖刀班的战士们打棒子,打倭奴,摧毁鹰奥联合实验室,与霉帝展开激战。同事,穿插讲述从北京航空学院到北京航空航天大学,...

人在乱世当世子,娘子却是大剑仙

人在乱世当世子,娘子却是大剑仙

杨侑不小心穿越成了大云王朝成国公的世子。人称青城第一大祸害!天天勾栏瓦肆,挥金如土,最爱潇洒摸鱼小日子。直到女帝微服私访青城诗会,各大才子现场以赏月为题作诗。正当所有人自信诗词无双的时候杨侑花间一壶酒,独酌无相亲。举头邀明月,独酌无相亲!天下所有才子黯然失色。...

重来之暖婚

重来之暖婚

重来之暖婚简介emspemsp关于重来之暖婚新书宠婚为爱甜妻你好已发,求收藏,求推荐票!前世活了二十几年,到结婚才发现男人不是自己的,爸妈也不是自己的,她叶筱晓的的一切就像个笑话,天大的笑话。重来一次,她要踹掉那支出...

亿万总裁宠上天

亿万总裁宠上天

亿万总裁宠上天简介emspemsp关于亿万总裁宠上天五年前,秋雪怡遭人算计,被扔下海,幸有好人相救,得知自己怀孕,纠结再三,生下儿子,没想到儿子竟然是电脑天才。回国后,秋雪怡主动出击,先从引起事端的人下手,我来你们公司就是为...

这个明星在深山种田

这个明星在深山种田

这个明星在深山种田简介emspemsp关于这个明星在深山种田人在深山,名在世间,种田就能收获文娱产品!地里种菜,种出一根大黄瓜,收获一首古诗。河边垂钓,钓上一条大鲤鱼,收获一首歌曲。市场卖菜,获得一部武侠小说。山里打猎,获得一部...

何以清欢

何以清欢

萧舒婉,你别太过分,谁家养金丝雀,不给饭的。于清欢,你就没有,我一分钱都不会给你,怎么,你有意见!某人眨巴着眼睛,含着泪水,愣是没敢说出一个不字。谁让人家是债主,而她于清欢,是赎罪的人呢。这个金丝雀,纵使再不值钱,也要坚持到底!直到某一日,金丝雀累了,一切,似乎都有了改变...

每日热搜小说推荐